電子材料事業部

低温焼成塗布剤

コーティングレックス

ネガ型 感光性透明絶縁膜 130Lic

■ 特徴

1. ネガ型 感光性塗布絶縁材料
2. 低温硬化特性を有しながら、幅広いプロセスマージン
3. 異なる膜（基板、金属膜など）との強い密着性と化学耐性
4. 優れた透過性・耐熱性・絶縁特性

■ 特性表

プロセス条件	膜厚	1～3 um
	感光性	ghi 線
	硬化温度	120℃ 1時間 ～ 230℃ 30分
	解像度	> 4um
光学特性	透過率	> 98%
電気特性	絶縁耐圧	2 MV/cm @ 1uA / cm2
	誘電率	〜 4 @ 1MHz
機械特性	鉛筆硬度	3H @ 荷重 750 g
密着性	クロスカット試験	剥がれなし ガラス基板上
		剥がれなし ITOなど透明導電膜上
		剥がれなし モリブデンなど金属膜上

■ パターニング特性

低温焼成でパターンが必要な液晶パネル・タッチスクリーンセンサーなどの絶縁膜・保護膜に適用できます。

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